?硬度（ Shore A ）為60度

?耐溫性能：-5 ℃～250 ℃

?耐介質(zhì)性能：優(yōu)異的耐腐蝕性，能夠在刻蝕、Plasma等苛刻的環(huán)境中保持橡膠的彈性，最高可在200度的溫度下保持密封性能

?應(yīng)用于PVD、CVD、ETCH、 Chamber等工藝制程

?推薦用于半導(dǎo)體制程，超高潔凈度的腔體內(nèi)